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雙色紅外測溫儀光學濾光片應用分析

2026-06-12 派大莘

雙色紅外測溫儀是一種應用于鋼鐵冶金、玻璃制造、半導體加工等高溫工業領域的測溫儀器,通過測量目標在兩個不同紅外波段的輻射強度比值來確定溫度,有效克服了單色測溫法中發射率未知或變化帶來的測量誤差。傳統單色紅外測溫儀假設目標發射率為已知常數,但實際工況中發射率隨溫度、表面狀態、氧化層厚度等因素變化,導致顯著測量誤差。雙色紅外測溫儀(也稱比色測溫儀)利用兩個波段的輻射比值反推溫度,在發射率未知或動態變化的場景中具有天然優勢,而實現這一功能的核心元件正是高精度光學濾光片

 雙色紅外測溫儀光學濾光片應用分析

(圖源網絡,侵刪)

一、雙色紅外測溫儀工作原理

1 基本測量原理

根據普朗克黑體輻射定律,任何溫度高于絕對零度的物體都會向外輻射電磁波。對于實際物體,其光譜輻射出射度為:

普朗克黑體輻射定律公式

其中ε(λ,T) 為光譜發射率,λ為波長,T 為熱力學溫度。

雙色測溫儀同時測量兩個窄帶波長 λ1和 λ2上的輻射信號 S1和 S2,計算其比值 R:

公式二

當兩個波長足夠接近時,可近似認為 ε(λ1,T)≈ε(λ2,T),此時比值 R僅與溫度相關,消除了發射率的影響。實際工程中常用1.3μm和1.6μm或1.0μm和1.6μm等波段組合,這兩個波段在大氣窗口內且對常見工業材料的發射率比值變化較小。

 

1.2 雙色法的優勢與局限

雙色法的核心優勢在于:

不受目標發射率絕對值變化的影響

對光路中的煙塵、水汽部分透過性衰減不敏感

可測量視場未完全充滿的目標

但雙色法要求兩個波段的發射率比值保持穩定,對于發射率隨波長劇烈變化的材料(如某些金屬在吸收帶邊緣)仍存在誤差。

 BP1600帶通濾光片

(BP1600帶通濾光片)

二、光學濾光片在雙色測溫儀中的核心作用

2.1 帶通濾光片的功能需求

雙色測溫儀需要精確分離兩個紅外波段,這對濾光片提出了以下要求:

參數典型指標說明
中心波長1.3μm / 1.6μm誤差±5nm以內
半高寬(FWHM30-50nm過寬則波段重疊,過窄則信號太弱
峰值透過率>85%直接關系信噪比
截止深度OD3-OD4波段外信號抑制能力
溫度漂移系數<0.1nm/℃高溫環境下穩定性

兩個濾光片的通帶必須有明確的光譜隔離,避免串擾。典型設計中,1.3μm濾光片的截止帶需覆蓋1.6μm附近,反之亦然,要求過渡帶陡峭。

 

2.2 濾光片制備技術

紅外帶通濾光片通常采用介質薄膜干涉濾光技術,通過交替沉積高折射率(如Ge、Si)和低折射率(如SiO?、MgF?)材料形成法布里-珀羅腔結構。對于1.3-1.6μm近紅外波段,常用的材料組合為Si/SiO?或Ge/ZnS。

制備工藝需注意:

膜層應力匹配,防止高溫脫膜

離子輔助沉積提高膜層致密度

環境穩定性測試(濕熱、鹽霧)

 臺階藍寶石窗口片

(臺階藍寶石窗口片)

三、耐高溫光學窗口設計

3.1 窗口材料的選取

測溫儀前端光學窗口需承受高溫、高壓及腐蝕性氣氛。常用窗口材料包括:

材料透過波段耐溫特點
藍寶石0.2-5.5μm>1000℃硬度高、化學穩定、價格適中
石英玻璃0.2-3.5μm~900℃透過率高、熱膨脹系數低
ZnSe0.5-22μm~300℃適用于遠紅外,高溫性能差
CaF?0.13-10μm~600℃易潮解,需防護

對于鋼鐵冶金等高溫應用,藍寶石因其優異的機械強度和耐溫性成為首選。

 

3.2 防污染設計

水汽和灰塵對紅外信號有強烈吸收和散射作用。工程上采取以下措施:

氣簾吹掃:在窗口前端形成正壓潔凈空氣流,阻止粉塵沉積

防塵鏡筒:采用長徑比>5的窄孔結構,減少污染物侵入

窗口加熱:將窗口溫度維持在露點以上,防止水汽凝結

可更換保護窗:在外側加裝廉價易換的防護片,定期更換

濾光片通常封裝在氣密腔體內,避免直接暴露于惡劣環境。整個光路需采用IP65以上防護等級。

 濾光片

(聚焦透鏡)

四、系統集成與性能驗證

4.1 光學系統架構

典型的雙色測溫儀光學結構如下:

目標輻射 → 耐高溫窗口 → 準直透鏡 → 分束器/分光鏡

                              ↓

[通道1] 1.3μm帶通濾光片 → 探測器1   

[通道2] 1.6μm帶通濾光片 → 探測器2


分光方式可采用:

平行光路:使用分束鏡將光束分成兩路,每路獨立濾光

時序分光:單探測器配合濾光片輪,但實時性較差

二元光學元件:將不同波長聚焦到不同探測器位置

 二向分光鏡

(二向分光鏡)

4.2 標定與測試

雙色測溫儀出廠前需進行黑體標定,建立比值-溫度曲線。由于兩個探測器的響應度差異、濾光片透過率差異等因素,實際測量值需通過標定修正。標定過程中應驗證:

不同黑體溫度下的比值線性度

發射率變化時(通過改變黑體輻射角度模擬)的測量穩定性

氣簾啟停、窗口輕微污染時的讀數一致性

 

4.3 典型應用場景

行業應用點溫度范圍關鍵要求
鋼鐵連鑄坯、鋼帶測溫700-1200℃抗水汽、氧化皮干擾
玻璃熔窯、錫槽600-1500℃穿透火焰氣體
半導體快速熱處理400-1200℃高速響應、精確控溫
水泥回轉窯燒成帶1000-1400℃抗粉塵、長距離測量

 

光學濾光片是雙色紅外測溫儀實現高精度溫度測量的核心元件。通過精確設計1.3μm和1.6μm帶通濾光片的光譜特性,配合耐高溫藍寶石窗口及氣簾吹掃等防污染措施,可有效抑制發射率變化、水汽和粉塵對測溫結果的影響,滿足嚴苛工業環境下的使用需求。

未來發展趨勢包括:

集成化:將濾光片與探測器單片集成,簡化光路

可調諧濾光技術:通過MEMS或液晶可調濾光片實現波段自適應選擇

智能化補償算法:結合濾光片透射譜的精確模型,對溫度漂移和老化進行實時補償

新型薄膜材料:開發更高溫度穩定性、更低應力的紅外薄膜材料

濾光片技術的進步將持續推動雙色紅外測溫儀向更高精度、更寬適應范圍的方向發展。

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